1. Pritsimine
1.1 Magnetroni pihustamine
See on meetod hõõglahenduse tekitamiseks pinge kaudu, argoongaasi ioniseerimiseks, sihtmärgi pommitamiseks argooniioonidega, et pihustada raskeid haruldaste muldmetallide osakesi, nagu düsproosium ja terbium, mis sadestuvad magnetterase pinnale, moodustades kilekihi. Magnetroni pihustamiseks kasutatavad tooted hõlmavad ruudukujulisi tükke, plaate, ümaraid tükke, rõngaid jne ning difusiooniallikaks on enamasti puhtast metallist düsproosiumi või terbiumi sihtmärgid.
Magnetroni pihustamise eelisteks on hea katte ühtlus, tihe kilekiht ja stabiilne sundjõu suurendamise efekt. Selle puudused on järgmised: 1. Seadmed on kallid ja ühe pideva seadme hind on 3,5–5 miljonit; 2. Materjali kasutamise sihtmäär on madal, seega on suhteline kulu kõrge.
1.2 Mitmekaareline pihustus
See on kate, mis tekitab väljast põhjustatud tühjenemise teel kohalikku kõrge temperatuuriga pihustust. Sellel on kõrge kattetõhususe sihtmaterjali kasutusmäär ja hea sidumisjõud. Kuid puudused on 1. Suured katteosakesed ja krobeline kilepind; 2. Üldine katte ühtlus; 3. katte ebarahuldav stabiilsus; 4. Kohalik temperatuuri tõus.
2. Aurustumine
Aurutamine on kile sadestamise meetod, kuumutades ja aurustades kattematerjali vaakumis. Aurustamine jaguneb staatiliseks aurustamiseks ja pöörlevaks aurustamiseks, mis sarnaneb ripp- ja rullplaadistusega galvaniseerimisprotsessis ning sobib vastavalt suurtele ja väikestele magnetitele.
2.1 Staatiline aurustamine
Eeliseks on see, et aurustumistemperatuur on kõrge ja aurustumisallika sublimatsioon, magnetterase pinnale sadestumine ja magneti difusioon toimub samaaegselt, nii et raske haruldaste muldmetallide difusiooniefekt on parem. Kuna raske haruldaste muldmetallide kile kvaliteet pärast aurustamist on seotud aurustumistemperatuuri, vaakumi astme ja plaadistuskaugusega (kaugus raske haruldase muldmetalli sihtmärgi ja magnetlehe vahel), tuleb magnetiline terasleht asetada spetsiaalsesse tööriista. plaadistuskauguse tagamiseks, mille tulemuseks on keerulisem protsess, madal tootmistõhusus ja halb kile konsistents. Seetõttu kasutatakse staatilist aurustamist kodumaises magnetmaterjalide tööstuses vähem.
2.2 Pöördaurustamine
See on meetod väikeste ja mikromagnetiliste terase ja raskete haruldaste muldmetallide sihtmaterjalide pidevaks segamiseks pöörlemise teel ning metalli Dy/Tb, mis lendub pärast kõrge temperatuuri sadestamist toote pinnale. See protsess sobib väikeste toodete jaoks, eriti elektroakustiliste toodete jaoks, mille ühiku kaal on alla 1 g; difusioonimaterjali maksumus on madal, kaalutõus on väike ja HcJ on oluliselt paranenud; HcJ konsistents on kõrge. Puuduseks on see, et toote ning düsproosiumi ja terbiumi metallide eraldamise protsess on suhteliselt töömahukas ning seda protsessi kasutatakse tööstuses harva ning seadmeid tuleb tavaliselt kohandada, millel on teatud tehnilised tõkked.
3. Katmine
3-1 Automaatne pihustamine
Asetage magnetlehed ühte kihti ja asetage tooriku alusele. Kasutage pneumaatilist pihustuspüstoli, et pihustada neid edasi-tagasi, et moodustada kile. Kui difusiooniallikaks on fluoriid või oksiid, võib seda pihustada atmosfääri. Kui tegemist on hüdriidi või raske haruldaste muldmetallide sulami pulbriga, on vajalik inertgaasi kaitse.
Eelised: 1. Seda saab kasutada paljude difusiooniallikate puhul, sealhulgas hüdriidid, fluoriidid, oksiidid ja sulamid; 2. See võib hajutada erineva kuju ja suurusega tooteid, sealhulgas plaadikujulisi, ruudukujulisi, ümaraid tükke ja rõngaid; 3. Seadmetel on kõrge automatiseerituse tase ja tooriku salve saab kasutada universaalselt ning tellimuste vahetamine on paindlik ja mugav; 4. Investeeringud seadmetesse on väikesed ja raskete haruldaste muldmetallide kasutusmäär kõrge.
Peamised puudused: kui difusiooniallikaks on fluoriid, on oht, hüdriid ja sulam on ohus ning oksiidide toimivus on halb.
3-2 Siiditrükk
Raske haruldaste muldmetallide pulber valmistatakse tindiks. Trükkimisel valatakse tint siiditrükiplaadi ühte otsa ning siiditrükiplaadil olevale tindi osale avaldatakse kaabitsaga teatud surve. Samal ajal liigub kaabits ühtlase kiirusega siiditrükiplaadi teise otsa suunas. Tint pigistatakse kaabitsa abil võrgust magnetlehele, et moodustada liikumise ajal kile.
Orgaanilise reagendi kapseldamise tõttu tindi sisse on takistatud hüdriidi või raske haruldaste muldmetallide sulami kokkupuude õhuga ja välditakse oksüdeerumist. Seetõttu saab rasket haruldaste muldmetallide hüdriidi kasutada difusiooniallikana atmosfäärikeskkonnas katmiseks, vältides tõhusalt fluoriidi ohtu. Samal ajal on siiditrükiprotsessil kõrge tootmistõhusus, raskete haruldaste muldmetallide kõrge kasutusmäär ja hea kaalutõusu konsistents, mis sobib väga hästi ruudukujulise magnetterase terade piiride difusiooniks. Viimase kahe aasta jooksul on siiditrüki protsessi tööstuses kiiresti edendatud ja sellest on saanud üks peamisi protsesse.
Puudused on järgmised: 1. Ebaühtlase pinnaga plaadikujuliste toodete jaoks ei sobi ekraan ja kaabits; 2. Erineva suuruse ja kaalukasvu suhtega toodete jaoks on tavaliselt vaja vastavaid tinti, siiditrükiplaate ja kinnitusvahendeid, mis sobivad suuremahuliste stabiilsete tellimuste jaoks. Väikeste partiitellimuste korral vähendab ekraanide ja kinnitusdetailide sagedane vahetamine tõhusust, suurendab kulusid ja vähendab paindlikkust.
